International Journal of Machine Tools and Manufacture
VOLUME 131, ISSUE 360 | PRJ-131-NANO-GRIND SPECIAL EDITION

Grinding of Semiconductor Wafers: Achieving Sub-Nanometer Surface Integrity

Abstract: 本研究探討了在半導體晶圓研磨過程中,如何在保持極致平整度的同時減少表面損傷層。通過優化進給速率與砂輪轉速比,我們成功將亞表面損傷 (SSD) 深度控制在 2μm 以內,這對於後續的 CMP 工藝具有重大意義。

隨著半導體製程邁向 2nm 以下節點,晶圓的初始平整度與表面質量變得前所未有的關鍵。傳統研磨工藝往往會在矽片表面留下顯著的應力集中區與微裂紋。Nano-Grind 採用的延性域磨削 (Ductile-Mode Grinding) 技術,通過精確控制磨粒的切削深度低於臨界值,使材料以塑性流動而非脆性斷裂的方式去除。

#WaferGrinding #SubsurfaceDamage #DuctileMode

CBN vs. Diamond Wheels: Performance Evaluation in Hardened Steel Machining

Abstract: 立方氮化硼 (CBN) 與金剛石砂輪在硬化鋼加工中的效能對比。本報告分析了熱穩定性、磨耗率與工件殘餘應力狀態。

在處理 HRC 60 以上的淬硬鋼時,CBN 展現了優於金剛石的化學穩定性,特別是在高溫磨削環境下,CBN 不會與鐵族元素發生反應。實驗數據顯示,使用 Nano-Grind 的靜壓主軸系統搭配高濃度 CBN 砂輪,其砂輪壽命提升了 40%,且加工後的工件表面呈現理想的壓應力狀態。

Non-Aspheric Optical Grinding: Multi-Axis Linkage in High-End Lens Manufacturing

Abstract: 非球面光學研磨:多軸聯動技術在高端鏡頭製造中的應用。探討如何通過空間幾何補償演算法實現對數控軌跡的實時修正。

光學元件的精度要求已進入奈米量級。非球面鏡片的製造挑戰在於曲率的連續變化。我們的多軸聯動補償技術能實時監測磨削點的法線方向,確保砂輪與工件始終處於最佳切削狀態。這不僅提升了形狀精度 (PV < 0.1μm),也極大地縮短了後續拋光的時間。